壓電材料應(yīng)變測試儀搭配測試夾具及其參數(shù)

華測儀器全新推出的微型激光測振傳感器,激光測振儀是一種小型激光傳感平臺，將這兩種主流的傳感功能結(jié)合在一個光學(xué)平臺上，可實現(xiàn)位移測量和振動測量等多種功能，激光測振儀在保持高精度測量的同時還降低了模塊尺寸和成本。微型激光測振傳感器/激光測振儀產(chǎn)品性能方面覆蓋從低頻到高頻甚至超聲測量領(lǐng)域DC~2.5MHz的頻率范圍相應(yīng)，測量速度20m/s，振幅分辨率20pm，頻率小于0.1% 。

主要技術(shù)參數(shù)

主機參數(shù)：

1.電壓范圍：0.1V ~ ±1000V（可調(diào)）

2.頻率范圍：0.01Hz ~ 1MHz

3.溫度范圍：-40°C ~ 300°C

4.數(shù)據(jù)采集速率：max 1000點/秒，確保高精度測量

功率放大器參數(shù)：

設(shè)備型號：HCAM-4KV

1.輸出電壓范圍：0 ~ 4KV 直流或峰值交流

2.輸出電流范圍：0 ~ 10mA 直流或峰值交流

3.輸入電壓范圍：0 ~ 10V 直流或峰值交流

4.輸入抗阻：25kΩ

5.直流電壓增益：400V/V

6.直流電壓增益精度：優(yōu)于滿量程的0.2%

7.內(nèi)部電容：300 pF (高壓輸出)

8.直流失調(diào)電壓:低于±1V

9.轉(zhuǎn)換速率（10％ to 90％）：優(yōu)于1000V/μs

10.小信號帶寬 (-3dB)：DC 優(yōu)于10KHz

11.大信號帶寬(-3dB)：DC 優(yōu)于20KHz

12.輸出噪聲：低于30mV rms

13.穩(wěn)定性：隨時間漂移：低于100ppm/hr，非累積；

                       隨溫度漂移： 低于120ppm/℃

激光測振儀參數(shù)：

1.指示激光波長：636nm

2.測量激光波長：1550nm

3.激光功率：P636 nm < 1 mW；P1550 nm < 10 mW

4.激光**等級：指示激光，Class Ⅱ@636nm;

                                   測量激光，Class IIIB@1550nm

5.光纖激光頭：長度：< 177 mm 直徑：< 35 mm

6.工作距離：0.35m-10m

7.小信號：10kHz

控制箱參數(shù)

1.max測量速度：±24.5 m/s

2.位移范圍：±4900 mm

3.輸出電壓范圍：±10V

4.頻率范圍：DC～3MHz

5.濾波設(shè)置：高通、低通濾波，跟蹤濾波

6.線性誤差：≤1.00%

7.速度分辨率：優(yōu)于 0.01μm/s/√Hz

8.位移分辨率：優(yōu)于1pm

9.模擬輸出：BNC接口輸出

10.數(shù)字輸出：RJ45千兆以太網(wǎng)口

11.低通濾波器：2 kHz、10 kHz、20 kHz、40 kHz、80 kHz、160 kHz、360 kHz、                                

                                 1 MHz、3 MHz（VD-18/DD-27）

12.采樣率：不低于15360000

13.工作頻率：55KHz時可測量被測物振幅不低于140 μm

14.高通：DC/DC BLOCK

15.輸入抗阻：50 Ω

16.輸出抗阻：50 Ω

 應(yīng)用案例：

激光測振儀配合高低溫冷熱臺對壓電器件測量

1.連接到Huace FE-3000鐵電分析儀上的激光測振儀可測量沉積在懸臂和膜上或沉積在基板上的壓電薄膜的壓電系數(shù)；

2.鐵電測試系統(tǒng)與激光干涉儀相結(jié)合，在D33振動過程中可以達到0.2pA(0.02nm)分辨率；

3.高低溫冷熱臺可以添加到薄膜壓電測試套件中，可以在單個樣品在 -196℃至 600℃的溫度中進行測量。

激光測振儀配合懸臂梁測量對薄膜應(yīng)變測量

1.激光測振儀與薄膜壓電測試(E31)相結(jié)合，可測量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31、D31和E33)。

應(yīng)用場景：

1.壓電疲勞；2.壓電老化；3.過程監(jiān)控；

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1.無源化：無源化光纖光學(xué)頭設(shè)計，不存在有源電路。

2.便攜性：可固定于三腳架，配有為儀器定制的拉桿箱，方便攜帶。

3.大量程：max測量范圍可達到10m，max測量速度可達24.5m/s。

4.人眼**：采用人眼**的不可見紅外光作為測量光。

5.可定制：可根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程和頻率范圍，為客戶進行定制。

6.個性化軟件：可根據(jù)客戶需求配備具有實時評價測量、實時顯示變化趨勢等智能化功能的軟件。

7.非接觸式測量：可解決接觸式測量在實際應(yīng)用中受到測量環(huán)境（高溫、強磁、腐蝕性材質(zhì)等）影響而無法完成的測試。

8.完整的解決方案：包含了光學(xué)調(diào)試、電路去噪、信號處理、數(shù)據(jù)采集和軟件分析功能。

產(chǎn)品特點：

1.非接觸式測量：優(yōu)于 1pm的位移分辨率，振幅分辨率20pm；頻率精度小于0.1%

2.不受環(huán)境和材質(zhì)顏色影響：因為激光束具有高度的方向性和相干擾性，激光測振儀不依賴于物體的顏色或材質(zhì)來反射激光。

3.小型化、集成抗干擾能力強：以集成光學(xué)芯片為核心，具有體積小、質(zhì)量輕、易維護等優(yōu)點。

4.同軸收發(fā)無測量死角：采用同軸收發(fā)技術(shù)，即激光發(fā)射器和接收器位于同一軸線上。

應(yīng)用領(lǐng)域：

微型激光測振傳感器/激光測振儀應(yīng)用領(lǐng)域：超聲領(lǐng)域；新能源領(lǐng)域、3C電子消費行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)。儀器加工領(lǐng)域，工業(yè)在線測量等。